威尔轮廓仪通过核心硬件创新+环境适应性设计+智能算法实现纳米级至微米级的高精度测量,其技术优势可归纳如下:
一、传感器与硬件技术突破
1、数字化高精度传感器
SP2000系列采用新型数字传感器,线性精度较传统光栅传感器提升5倍,微小轮廓(如轴承沟道R值、滚珠丝杆沟形偏差)的测量能力提升10倍,精度达±0.6μm。
Z1轴多段式电感传感器支持高分辨率测量,粗糙度参数(Ra/Rz)的测量精度可达5nm,适用于半导体晶圆等超精密表面检测。
2、精密机械结构设计
采用大理石立柱体与气浮防振系统,减少环境振动干扰,长期稳定性误差≤0.5μm/100mm。
双轴光栅计数(RS系列圆柱度仪)结合高刚性导轨,确保高速扫描(50mm/s)下仍保持高重复性精度。
二、环境适应性与稳定性保障
1、抗干扰能力:
一体式铸造结构+天然大理石机台,抑制温度变化和机械振动对测量结果的影响,适配复杂工业环境(如汽车生产线)。
气浮减震技术有效隔离外部振动,保障超精密场景(如光学元件检测)的测量稳定性。
2、动态校准技术:
设备内置自动化调心调平功能,可快速校准测量基准,减少人为操作误差,提升批量检测效率3。